随着半导体制程向先进节点演进,3D 晶体管架构与多层互连堆叠技术的规模化应用,使得器件缺陷的隐蔽性与检测难度显著提升。传统光学检测技术已难以满足电学相关缺陷的识别需求,而电子束检测的效率瓶颈又制约了量产应用。DirectScan检测通过核心技术创新破解了这一行业痛点,为下一代半导体制造提供了高效、精准的检测解决方案。
本文将从技术原理、核心优势、应用场景及落地实践等方面,对该技术进行系统性解析。
一、先进工艺节点的检测挑战与技术缺口
当前半导体制造技术正经历关键变革:鳍式场效应晶体管逐步被全环绕栅极(GAA)纳米带晶体管替代,中段制程(MOL)因多重图形化技术的应用,堆叠复杂度持续增加。这一变革导致致命缺陷多隐匿于 3D 结构内部,传统光学检测手段难以有效识别。
同时,先进工艺节点的缺陷呈现显著的产品特异性,集中分布于特定工艺 - 版图组合的 “热点区域”,此类缺陷由芯片设计固有的版图特征引发,成为影响良率的核心因素。
行业面临的核心矛盾在于:电子束电压衬度检测是识别电学缺陷的关键技术,但传统电子束检测采用光栅扫描模式,效率远低于光学检测,无法匹配大批量生产的需求。DirectScan 技术的出现,为破解这一矛盾提供了可行路径。

二、DirectScan 核心技术架构:PointScan 的创新逻辑
DirectScan 检测方案由eProbe 电子束检测工具、FIRE GDS 版图分析平台及Exensio 大数据智能分析平台三大核心组件构成,其技术突破的核心在于PointScan 扫描技术对传统电子束检测逻辑的重构,主要体现在以下三方面:
1
设计感知驱动的靶向检测
传统电子束检测采用无差别光栅扫描,需覆盖包括介质区域在内的全部区域,且无法识别被测目标的图形特征;PointScan 技术具备非接触式电学测试特性,可精准跳转至目标器件的关键位置(如焊盘、接触点),仅对有效检测区域实施电压衬度检测,完全规避介质区域的无效扫描,实现 “按需检测”。

2
检测效率的量级提升
通过 FIRE 平台的精细化版图分析,可精准筛选出需检测的 “关键区域”,大幅缩减检测范围:
后段制程金属 3 层通孔检测:仅需扫描总可检测面积的 2.5%
中段制程栅极 - 漏极短路检测:仅需扫描总接触点的 1%
栅极残筋检测:可规避 50%-75% 的介质区域,检测面积缩减至传统方案的 10% 以下
基于上述优化,PointScan 技术的检测吞吐量可达传统单束电子束检测设备的 20-100 倍,每小时可完成数十亿个被测器件的扫描。
3
设计感知学习与属性分析能力
DirectScan 与 FIRE 平台的深度整合,可实现跨多层版图的属性提取,包括触点类型(漏极 / 栅极)、晶体管阈值电压、极性、与扩散区隔离槽的距离等关键参数。
eProbe 输出的 KLARF格式数据含专属属性识别码,可与版图特征精准匹配,工程师可直接计算特定属性或属性组合对应的缺陷率,快速定位高风险晶体管类型与版图设计方案,为工艺优化提供数据支撑。
三、高难度场景的应用突破
PointScan 技术的低电荷沉积特性,使其在传统电子束检测难以覆盖的场景中实现突破:
背侧供电网络(BSPDN)晶圆检测
键合晶圆形成的绝缘层会阻碍电荷传导,导致传统电子束检测出现电荷累积、电子束偏折与失焦问题;PointScan 技术大幅降低单位面积电荷沉积量,有效缓解上述问题,已完成实际应用验证。
3D DRAM检测
3D DRAM 的结构特性同样易引发电荷累积,此前检测难度较高,DirectScan 技术的应用使该类器件的精准检测成为可能。
DRAM 阵列短路检测
独有的可控 “充电 - 检测” 功能,可在指定位置施加电荷后跳转至目标区域采集电压衬度信号,使特定岛状节点呈现高亮状态,清晰识别与浮空相邻触点的短路问题,该功能为传统光栅扫描技术所不具备。
四、行业落地实践与全流程应用
自 2022 年初起,eProbe 检测系统已在多家先进逻辑芯片制造工厂落地,目前两套设备投入大批量生产,第三套设备处于产能爬坡阶段,应用场景覆盖半导体制造全流程:
先进逻辑芯片制造
中段制程:GAA 栅极 - 漏极短路、栅极接触孔开路、栅极外延层 / 硅化物层开路检测
后段制程:M0 层、1X 层、2X 层系统性接触孔开路与金属布线短路检测
背侧供电网络:电源通孔、源极 / 漏极通孔接触孔开路与短路检测
随机逻辑电路漏电情况评估
先进 DRAM 制造(2024-2025 年)
外围电路:栅极 - 栅极残筋短路、栅极 - 漏极短路、字线 - 字线短路与开路检测及缺陷定位
存储阵列:基于可控 “充电 - 检测” 技术的存储节点短路检测
技术总结
在半导体制程向更精密 3D 架构演进的背景下,检测技术的创新成为保障良率的关键。DirectScan 方案通过 PointScan 靶向扫描技术、设计感知分析能力与产品特异性缺陷学习功能的融合,在保留电子束检测高灵敏度的基础上,实现了检测吞吐量的量级提升,同时破解了高难度场景的检测难题。
该技术不仅解决了先进工艺节点下缺陷“难识别、难检测” 的问题,更推动半导体检测从 “缺陷识别” 向 “工艺优化赋能” 升级,为下一代半导体制造提供了核心技术支撑和全新路径。
"/>时间: 2026-06-06 21:24:04 来源: ndjwajqh.codermall.com 作者: 热点
别名 川芒、双药芒伞房双药芒、双药芒紫毛双药芒、双药芒西藏双药芒、双药芒短毛芒、双药芒芒稃双药芒。双药芒类金茅双药芒、双药芒分枝双药芒、双药芒 异名 Diandranthus ramosus Diandranthus tibeticus Diandranthus taylorii Diandranthus yunnanensis Diandranthus eulalioides Diandranthus nudipes (Griseb.) L. Liu Diandranthus corymbosus Diandranthus brevipilus Diandranthus aristatus Diandranthus wardii Diandranthus szechuanensis Miscanthus yunnanensis Miscanthus brevipilus Miscanthus wardii Miscanthus taylorii Miscanthus szechuanensis Miscanthus eulalioides Erianthus nudipes Miscanthus nudipes subsp. yunnanensis 参考文献 S双药芒光柄芒、双药芒类金茅芒、双药芒西南双药芒、双药芒短毛双药芒、双药芒双药芒(学名:)为禾本科芒属下的双药芒一个种。

《DirectScan 技术解析:下一代半导体电子束检测的创新路径与应用》男孩、女孩宝宝名字推荐
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月落乌啼霜满天,江枫渔火对愁眠。本周玻璃行业有哪些值得关注的资讯呢?请快和小玻一起走进第329期玻璃周刊吧!


国际动态

1、GlassKote FGI投资超过12亿澳元建设两座浮法玻璃厂
在全球玻璃行业的一项颠覆性飞跃中,GlassKote FGI(简称GK)已确认获得超过12亿澳元的资金,用于建设两座全球最先进的低铁浮法玻璃厂——第一座将于2026年初在澳大利亚昆士兰州动工,第二座将在随后几个月于阿拉伯联合酋长国开工。


2、安佳玻璃完成全面资本重组
“这一变革性时刻标志着Anchor Glass新时代的开始,”总裁兼首席执行官尼佩什?H?沙阿表示。“我们显著改善了资产负债表,获得了大量新资本,现在已准备好对我们的资产、员工和客户进行持续投资。这一基础使我们能更好地以‘一个Anchor’的姿态开展业务——提升安全性、提供完美的客户体验,并打造降低工业成本的能力。随着我们进入下一增长阶段,我们的团队期待着利用迄今为止取得的巨大进步。”


3、EFG产能翻倍——霍恩玻璃作为关键技术合作伙伴
正如我们最近报道的那样,迪拜投资公司的子公司阿联酋浮法玻璃公司(EFG)将通过新增第二条浮法线,把产能从目前的每天600吨提升至1200吨,实现产能翻倍。
这条新生产线还将引入超白低铁玻璃的生产——这在中东和北非地区是首创的能力。
这条新的浮法生产线计划于2027年末至2028年初投入运营,将整合先进的自动化技术、节能系统和下一代过程控制技术,以确保稳定的产品质量、可靠的运营以及更低的能耗。


4、玻璃回收联盟与玻璃回收基金会合并
玻璃回收联盟(GRC)与玻璃回收基金会(GRF)今日宣布,它们已合并为一个单一组织,以玻璃回收基金会(GRF)的名义运作。此次合并将玻璃回收领域的两大领军力量联合起来,打造一个更强大、更高效的平台,以填补供应链缺口,并在全美范围内加快推进相关工作。合并后,专家、项目和资源将整合到同一个值得信赖的GRF旗下,便于社区和行业代表获取赠款、技术工具及最佳实践。


国内新闻
(以下排序不分先后)

1、曹德旺辞职
福耀玻璃公告称,公司董事长曹德旺因推动公司治理结构战略性优化与可持续发展的需要,辞去董事长职务,但将继续担任公司董事及部分子公司的董事、董事长和法定代表人职务。
同时,公司选举曹晖为新任董事长,并任命其为法定代表人及董事局战略发展委员会主任。曹德旺被委任为公司终身荣誉董事长。此次职务变动不会对公司正常经营活动产生不利影响。


2、攻坚克难!晶华玻璃大吨位熔窑生产金茶玻璃成功下线
近日,晶华玻璃公司金茶玻璃成功下线并实现稳定量产,突破了国内大吨位熔窑生产颜色玻璃的技术难关,标志着晶华玻璃在产品结构转型中取得新进展。这场“色彩蜕变” 的背后,离不开耀华集团颜色玻璃团队的技术支持,更凝聚着生产团队多日的全线攻坚。


3、凯盛集团首获中国专利金奖!
10月13日,第十四届中国国际专利技术与产品交易会开幕式暨第二十五届中国专利奖颁奖大会在辽宁省大连市举办。经中国专利奖评审委员会评审,社会公示,凯盛集团所属中研院集团和蚌埠中光电联合参评的发明专利“一种高世代TFT-LCD玻璃基板生产线”以不到1%的获奖率脱颖而出,作为30项获奖成果之一,被国家知识产权局和世界知识产权组织授予中国专利金奖。中国工程院院士、中国建材集团首席科学家、凯盛集团首席科学家彭寿作为中国专利金奖获奖代表讲话。


4、关于金宏阳1800t/d一窑三线生产线产能置换方案的公示
按照《水泥玻璃行业产能置换实施办法(2024年本)》(工信部原〔2024〕206号)要求,现将河北金宏阳太阳能科技股份有限公司1800t/d一窑三线电子级玻璃和汽车玻璃原片及光伏背板玻璃基片特种玻璃生产线项目产能置换方案予以公示,欢迎社会公众进行监督。公示期为2025年10月13日至2025年10月24日。


5、中玻跨境即将走进土耳其
土耳其玻璃展:连接欧亚的行业超级舞台土耳其玻璃行业的腾飞,离不开高水平的国际展会平台。由TUYAP国际展览公司主办,并通过UFI国际认证的土耳其国际玻璃门窗展,已成功举办14届,今年迎来第15届,再次成为行业焦点。
展会时间:2025年11月15-18日
展会地点:土耳其伊斯坦布尔TUYAP国际会展中心


END
(注:本篇文字部分由记者小玻收集整理,图片来源于网络。如有侵权,请联系我们。)


" alt="329期 玻璃周刊 一周玻璃新鲜事(2025.10.13">

发布会上,追觅全球AI硬件事业群总裁潘志东发表主题演讲,与现场媒体、合作伙伴及消费者共同见证AI智能穿戴赛道的全新里程碑,同时深度解读了追觅在智能穿戴领域的研发理念与产品核心优势。潘志东表示:“我们始终秉承‘所有的硬件都值得用AI重新做一遍’的理念,深耕用户核心痛点,致力于打造好看、好用、耐用,能让AI真正服务于人的好硬件产品。此次发布的追觅AI戒指Glow,是我们在AI健康穿戴领域的又一次颠覆性突破,旨在用‘戒指+AI’的创新模式,打破专业健康管理的高门槛,让人人都能轻松拥有专属的指尖健康管家。”

追觅AI戒指Glow精准定位“三个一”,集“一个小巧智能穿戴设备、一位随身指尖AI健康管家、一枚高端时尚首饰戒指”三大核心属性于一体,从佩戴体验、健康功能、外观设计三大维度实现全方位升级,彻底解决行业内智能穿戴设备佩戴不适、功能单一、续航焦虑等普遍痛点。

全球首创心电监测,AI赋能全周期健康管理
作为全球首款指尖AI心电戒指,Glow搭载追觅定制化ECG心电图传感器、PPG光电容积脉搏波传感器、高精度温度传感器、加速度传感器组成的旗舰级传感矩阵,实现24小时不间断、高精度心电、心率、血氧、体温等核心生理指标监测。依托千万级健康数据样本训练的自研健康AI大模型,结合清华大学联合研发的深度学习算法,可为每位用户建立专属健康基线,精准捕捉身体细微变化,告别传统设备的通用数据判断,实现个性化健康解读。

该产品核心健康功能覆盖四大维度:精准监测深睡、浅睡等4大睡眠周期,生成专业睡眠报告并给出个性化改善方案;实时监测心率变化,实现健康异常及时预警;基于长期数据分析,定制专属运动、作息健康方案;支持多终端数据同步,开启亲友远程关怀功能,让科技成为亲情连接的纽带。同时,产品通过50米潜水级防水测试,远超行业常规IP68标准,游泳、潜水等场景均可放心佩戴;续航方面实现跨越式升级,单枚戒指续航7-10天,搭配专属充电仓续航长达150天,彻底告别续航焦虑。

极致无感佩戴,重新定义穿戴舒适度
延续并升级追觅戒指标志性轻薄设计,Glow戒指机身厚度仅2.5mm,重量控制在3.8g,仅相当于一枚5角硬币的重量,搭配航空级锻造钛合金材质,具备坚固耐磨、亲肤抗过敏的特性,真正实现全天无感佩戴。无论是睡眠、办公、运动还是商务场合,全程佩戴无压手感、无异物感,彻底解决传统穿戴设备厚重硌手、用户弃用率高的行业难题,保障24小时健康数据连续采集。

轻奢时尚设计,科技与美学兼具
追觅AI戒指Glow兼顾科技实力与时尚属性,尺码覆盖7-14号,推出静谧黑、律动银、破晓金、玫瑰金四款配色,适配商务简约、运动时尚、轻奢精致等多种风格,可无缝适配日常通勤、户外运动、正式场合等全场景,既是硬核健康设备,也是高端百搭的时尚首饰,真正实现科技融入生活,颜值与实力并存。

官方定价公布 普惠全民健康管理
发布会上,潘志东正式公布追觅AI戒指Glow定价:产品官方售价1799元,惊喜首发价1499元。潘志东强调:“我们希望用亲民的定价,让专业级健康管理不再是少数人的专属,让每一位普通消费者都能轻松拥有24小时在岗的私人健康管家,让AI科技真正惠及每一个人。”

谈及品牌未来愿景,潘志东表示:“AI时代,所有硬件都值得重新做一遍,这是万亿级的产业机遇,更是科技企业的责任与使命。追觅将持续深耕AI智能硬件赛道,依托核心技术、AI算法与用户洞察,在AI眼镜、AI手表、AI陪伴机器人等多领域布局研发,构建全场景、全品类的AI智能硬件生态,与全球合作伙伴携手,共赴AI智能硬件的万亿蓝海。”
发布会现场签约破千万,追觅戒指 Glow 渠道热度引爆
发布会现场,全新发布的追觅戒指Glow 成为渠道焦点:来自全国乃至海外的经销商代表争相洽谈合作,现场签约金额突破千万元,多家头部连锁渠道商已敲定年度合作框架。不少经销商表示,Glow 的全球首创心电监测技术、无感佩戴体验及轻奢设计,是其看好产品市场爆发力的关键。
为进一步扩大渠道覆盖、深化伙伴协同,追觅AI智能戒指官宣将于3 月 27 日在苏州举办追觅AI智能戒指经销商大会,届时将发布定制化渠道政策及营销资源支持,助力合作伙伴快速抢占AI智能硬件健康穿戴市场。

荣耀加冕 实力出圈 追觅AI戒指权威背书拉满
此次全新旗舰Glow戒指发布,离不开追觅此前在智能穿戴领域的深厚积淀与亮眼成绩,追觅AI智能戒指系列凭借硬核技术与极致体验,早已收获行业权威认可、明星青睐与国民热度,多项重磅荣誉加持,奠定行业领跑地位。
国民级破圈,登陆顶级舞台获明星力荐
今年春晚,追觅AI智能戒指首次登陆春晚舞台,成为首款亮相春晚的戒指类产品,与易烊千玺、言承旭等顶流明星同框互动,胡先煦、刘惜君、龚韵熹等多位明星及央视主持人现场亲身佩戴体验,借助春晚的国民级影响力,实现品牌与产品的全民破圈。在“敢梦敢为,追觅之夜”演唱会上,央视知名主持人撒贝宁亲自佩戴产品现场实测心率,更是将追觅AI戒指赞誉为“指环王”,进一步放大产品口碑与热度。

国际权威认证,斩获大奖获全球认可
2026年1月,在全球最大消费电子展览会CES上,追觅AI智能戒指斩获Wearable全球智能穿戴创新大奖,成为唯一获此殊荣的中国智能戒指品牌,彰显中国智造的硬核实力。产品凭借出色表现,成功吸引NBA历史最年轻MVP球星德里克·罗斯青睐,亲自佩戴站台背书,实现全球范围内的热度扩散,收获海外消费者与行业人士的广泛关注。

市场表现亮眼,稳居同品类销量增速第一
此前追觅AI震动款戒指上市后,市场表现同样亮眼:上市首月斩获超千万元销售订单,60天登顶天猫智能戒指热销榜TOP1,春节期间再度蝉联榜首,同时拿下抖音智能硬件品类带货榜TOP1,短短四个月便稳居销量增速、市场影响力同品类第一,用实打实的市场成绩印证产品实力与用户认可度。


此次追觅AI戒指Glow在2026 AWE展会的全球首发,不仅是追觅在AI健康穿戴领域的技术里程碑,更是中国智能穿戴品牌向全球市场发力的重要信号。未来,追觅将持续以技术创新为核心,以用户需求为导向,不断迭代升级产品,推动AI健康穿戴技术普及,让更智能、更便捷、更专业的健康管理方式走进全球千家万户,重新定义指尖智能穿戴行业新标准。
追觅戒指 Glow 正式发布:全球首创指尖 AI 心电监测,重塑指尖智能穿戴新标杆
北京时间1月25日,日前利雅得胜利在深圳召开新闻发布会,宣布与上海申花与浙江队的两场友谊赛推迟,具体日期没定。
由于C罗的伤病,比赛不得不推迟,因为在商业合同当中规定C罗一定要出场。举办方会立即开启退票通道,并报销球迷的交通费以及住宿费。
C罗遗憾的表示:“由于伤病,不得不推迟比赛。我向中国球迷道歉,中国是我的第二故乡,我爱这里的球迷,未来我们肯定还会过来的。”